真空系統中的真空元件的常用材料

2008-10-28 劍氣書生 真空技術網整理

1.1、結構材料

   真空系統結構材料是構成真空系統主體的材料，它將真空系統與大氣隔開，承受著大氣壓力。這類材料主要是各種金屬和非金屬材料，包括可拆卸連接處的密封墊圈材料。

1.2、輔助材料

    真空系統中某些零件連接處或系統漏氣處的輔助密封用的真空封脂、真空封蠟、裝配時用的粘接劑、焊劑、真空泵及系統中用的真空油、吸氣劑、工作氣體及系統中所用的加熱元件材料等。

    隨著真空科學技術的進展，新工藝、新材料肯定將不斷出現。常用的真空系統材料見表1。
表1  真空系統中的真空元件的常用材料
零部件名稱
低真空及高真空
超高真空
殼體、管路、閥、內部零件 普通碳素鋼、不銹鋼 不銹鋼、鈦
密封墊圈 丁基橡膠、氟塑料 氟橡膠、氟塑料、銅、金、銀、銦
導電體 銅、不銹鋼、鋁 銅、不銹鋼
絕緣體 酚醛、氟塑料、玻璃、陶瓷 玻璃、致密高鋁瓷等
視窗 玻璃 硼硅玻璃、透明石英玻璃
潤滑劑 低蒸氣壓的油及脂 二硫化鉬、鍍銀或金
加熱元件 鎳鉻鐵合金、鎢、鉬、鉭、碳布 鎢、鉬、鉭、鎢—錸合金、石墨碳纖維